中科院表示，火災發生第一時間已立即疏散人員，並啟動二氧化碳滅火系統，隨後通報消防單位前往支援。初期由中科院內部消防人員展開滅火作業，桃園市消防局第四大隊圳頂分隊也隨後到場協助，目前火勢已受到控制，現場持續排煙中，並有人員駐守監控狀況。

根據中科院於下午4時52分發布的新聞稿指出，此次火警肇因為執行功率測試時產生的高溫與濃煙所致。現場未傳出人員傷損，院方已成立專案小組進行火災原因調查，並著手清點相關設備與財產損失。

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